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SemiChem 在線(xiàn)濃度監測儀

簡(jiǎn)要描述:我們的 SemiChem Advanced Process Monitor(SemiChem 在線(xiàn)濃度監測儀)是集自動(dòng)取樣、分析和報告關(guān)鍵過(guò)程的定量化學(xué)濃度的化學(xué)監測系統。全面的在線(xiàn)化學(xué)監測可實(shí)時(shí)校正漿料成分,從而穩定控制工藝生產(chǎn)條件。該系統可提供分類(lèi)化學(xué)濃度數據。當立即顯現時(shí),可以快速糾正可能對產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)生負面影響的變化,有助于滿(mǎn)足更高產(chǎn)品產(chǎn)量的要求。

  • 更新時(shí)間:2024-06-04
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 產(chǎn)品型號:
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:1105
詳情介紹

SemiChem 在線(xiàn)濃度監測儀

Entegris在設計和生產(chǎn)用于半導體制造工藝中的化學(xué)機械平坦化(CMP)漿料和配方清潔化學(xué)品的高精度分析儀器的有豐富的經(jīng)驗。我們的技術(shù)旨在確保復雜混合化學(xué)品的精確一致性,并在 CMP和配方清潔工藝中實(shí)現高產(chǎn)量。


我們的 SemiChem Advanced Process Monitor SemiChem 在線(xiàn)濃度監測儀)是集自動(dòng)取樣、分析和報告關(guān)鍵過(guò)程的定量化學(xué)濃度的化學(xué)監測系統。全面的在線(xiàn)化學(xué)監測可實(shí)時(shí)校正漿料成分,從而穩定控制工藝生產(chǎn)條件。該系統可提供分類(lèi)化學(xué)濃度數據。當立即顯現時(shí),可以快速糾正可能對產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)生負面影響的變化,有助于滿(mǎn)足更高產(chǎn)品產(chǎn)量的要求。


應用領(lǐng)域

在全球范圍內,我們安裝了近3000套SemiChem APM系統,用于控制金屬 CMP 濃度。它是控制CMP過(guò)氧化物的可靠的中心工具,并被證明在微電子環(huán)境中的所有濕化學(xué)應用中都具有較好的性能,包括:

·銅,鎢,阻擋層和金屬CMP

·制定清潔

·DSP+

·濕法蝕刻,氮化物蝕刻

·平底蝕刻,食人魚(yú)蝕刻

·高頻

·廢水


功能與特點(diǎn)


經(jīng)驗證的標準電化學(xué)技術(shù)提供行業(yè)精確的監控,以保證過(guò)程化學(xué)成分和完整性
提供化學(xué)濃度數據,使漿料/化學(xué)分配系統能夠提供準確的化學(xué)濃度
在線(xiàn)的,接近實(shí)時(shí)檢測的系檢測揮發(fā)性化學(xué)物質(zhì)的工藝偏差,防止產(chǎn)品質(zhì)量損壞
將實(shí)驗室技術(shù)過(guò)渡到在線(xiàn),實(shí)現快速準確的在線(xiàn)控制
堅固耐用的工業(yè)設計維持至少8500小時(shí)平均工作時(shí)間
可經(jīng)受?chē)谰墓I(yè)環(huán)境




規格

分析方法電位測定法,標準加成法,光度測定法
電位測量的準確性* 顯示值的±0.2%
標準添加的準確性* 顯示值的±2.0%
電位測量精度* ±0.2%相對誤差
標準添加精度* ±2.0%相對誤差
測量時(shí)間>5分鐘/次(取決于應用程序)
校準間隔 啟動(dòng)時(shí)**
樣品消耗<5 mL/次
進(jìn)樣量0.05-5 mL(取決于應用)
進(jìn)樣溫度最高93°C(200°F)
耗水量<1000 mL/分析
樣品進(jìn)樣/排樣<207 kPa(30 psi),0.5 L/min
1/4" OD擴口接頭,1" FPT安全殼聯(lián)軸器
去離子水138至276 kPa(20至40 psi)
2.0升/分鐘
外徑 1/4" 擴口接頭
CDA414-552 kPa(60-80 psi)
1/4" 外徑快速接頭
排水工藝:3/4“NPT重力排水管機柜:1/2“NPT重力
電源110/220 VAC,50/60 Hz,1/0.5 A現場(chǎng)可切換
廢氣外徑1 7/8" @ 17 CFM





























標準功能可選功能

·四個(gè)4-20 mA模擬輸出

·八個(gè)可編程繼電器

·以太網(wǎng)和RS232串行

·彩色觸摸屏

·單個(gè)測量單元

·綜合試劑儲存

·單個(gè)采樣點(diǎn)

·一個(gè)5 mL數字滴定管

·多傳感器輸入

·多個(gè)采樣點(diǎn)

·額外的5 mL數字滴定管

·附加傳感器

·安全聯(lián)鎖裝置

·試劑微量檢測















尺寸



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