SemiChem 單槽壁掛式在線(xiàn)濃度監測儀

SemiChem 單槽壁掛式在線(xiàn)濃度監測儀

SemiChem 單槽壁掛式在線(xiàn)濃度監測儀為工程師提供了準確性、可靠性和靈活性的過(guò)程監控，可以提高效率、保證晶圓制造的一致性，以滿(mǎn)足更高的良率和容錯的要求。在競爭激烈的微電子工業(yè)中，如果不使用復雜的監測和控制來(lái)確保晶圓制造的一致性，晶圓的制造成本將大大提高。

我們的SemiChem 單槽壁掛式在線(xiàn)濃度監測儀允許定量化學(xué)濃度。全在線(xiàn)化學(xué)監測能夠實(shí)時(shí)校正溶液成分，從而穩定控制工藝條件、保持產(chǎn)品的一致性。

監控工藝過(guò)程中溶液的組分信息能夠增加產(chǎn)品的產(chǎn)量?？赡苡绊懏a(chǎn)品質(zhì)量的變化在檢測時(shí)會(huì )立即顯現出來(lái)，并在產(chǎn)品質(zhì)量受損之前迅速糾正。

產(chǎn)品選項  

• 多個(gè)樣本點(diǎn)

• 額外的5 mL數字滴定管

• 附加傳感器

• 安全聯(lián)鎖裝置

• 試劑低液位檢測

優(yōu)勢  

• 增加工具產(chǎn)量

• 降低化學(xué)品成本

• 實(shí)時(shí)過(guò)程監控

• 降低批量損失

• 降低所有者成本

應用    

• 銅化學(xué)機械拋光

• 鎢化學(xué)機械拋光

• 濕法蝕刻

• 清潔

• DSP+

• 氮化物蝕刻

• PAN蝕刻  

• 食人魚(yú)蝕刻

• HF

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 4個(gè)4-20 mA 模擬輸出

• 8個(gè)可編程繼電器

• 以太網(wǎng)和 RS232 串口

• 彩色觸摸屏

• 集成試劑儲存

• 單采樣點(diǎn)

• 1個(gè)5mL數顯滴定管

• 多個(gè)傳感器輸入

規格

¹僅指“硬件"。應用、化學(xué)和工藝條件等外部因素會(huì )影響系統準確度和精密度。

²這不包括 pH 傳感器的校準。有關(guān)詳細信息，請參閱安裝和操作手冊。Entegris 相信此處包含的數據是真實(shí)的，所表達的意見(jiàn)是合格專(zhuān)家對所進(jìn)行測試的結果的看法，這些數據不應被視為 Entegris  承擔法律責任的保證或陳述。提供的數據僅供考慮、調查和驗證。對這些數據和信息的任何使用都必須由用戶(hù)決定，以符合聯(lián)邦、州和當地的法律法規。所有規格如有更改，恕不另行通知。

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